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光刻膠涂布控溫冷水機組選型，價格，方案等與江蘇康士捷機械設備有限公司溝通，多案例供參考。
康士捷生產的工業控溫設備有高溫型（5℃～35℃）、中溫型（-5℃～-40℃）、低溫型（-40℃～-80℃）、超低溫型（-150℃～-80℃）、冷熱兩用型（-150℃～+300℃）等系列產品供貴司選用。制冷量大小都有，有防爆型，防腐型，撬裝式，變頻型等。接受非標定做。溫度穩定性±0.1℃等可選。
以下列出部分參數，貴司參數溝通選型后確認。
溫度穩定性：維持光刻膠涂布環境（如基板、噴頭、腔體）的恒溫（通常±0.1℃甚至更高精度），避免溫度波動導致膠厚不均或圖案缺陷。
粘度控制：光刻膠粘度對溫度敏感，控溫確保膠體流動性一致，保障涂布均勻性。
設備冷卻：防止涂布機、烘烤板等部件過熱，延長設備壽命。
高精度控溫：需達到±0.1℃或更高（如±0.01℃），適應納米級制程。
快速響應：動態調節能力，應對工藝中的溫度突變需求。
流量與壓力穩定：確保冷卻液流速均勻，避免壓力波動影響工藝。
耐腐蝕設計：部分光刻膠含化學溶劑，冷水機需防腐蝕材料（如不銹鋼管路）。
低振動/低噪音：避免振動干擾精密涂布過程。
工藝匹配：根據光刻膠類型（如ArF、KrF、EUV）確定溫度范圍和精度。
系統兼容性：與涂布機、顯影機等設備的接口和控溫需求匹配。
節能性：變頻壓縮機、熱回收設計可降低運行成本。
水質要求：高純度去離子水或防凍液，避免管道結垢。
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